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 BCG450B-A 型皮拉尼电容膜片真空计
BCG450
B-A 型皮拉尼电容膜片真空计
 
  • 产品概述
  • 详细参数
  • 资料下载

益处

  • BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量安装与设置的复杂性
  • 10 托以上的压力测量不受气体类型限制,能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
  • 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

新闻

NEW! With EtherCAT digital interface available now !


规格

类型

BCG450

测量范围

5×10-10 … 1500

精度

 

10-8 … 50 毫巴

% of reading

±15

50 … 950 毫巴

% of reading

±5

950 … 1050 毫巴

% of reading

±2.5

可重复性

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

热离子发射

mbar

2×10-2 (high)

(可选高/低,通过 RS232 / 现场总线)

mbar

8×10-3 (low)

除气 (1)

 

p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max. 3 min

压力,最大

bar (absolute)

5

温度

 

运行(环境)

°C

… +50

贮存

°C

-20 … +70

在法兰处烘烤

°C

80

移除烘烤电子设备

°C

150

电源电压

20 … 28 

输出信号模拟

 

输出信号

V

… 10.3

测量范围输出

V

0.774 … 10.3

电压与压强之间的关系

volts per decade

0.75

错误信号

V

0.3 / 0.5

最小负载

k

10

接口(数字)(2)

RS232C

连接器

D-Sub, 15-pin, male

电缆长度,最大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料

Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF

cm³ (in.³)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

285 / 550

保护等级

IP30

DeviceNet

 

协议

DeviceNet, group 2 slave only

数据率开关

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

电缆长度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

电缆长度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

电缆长度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

网络规模

up to 64 nodes per segment

数字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

可视通信指示器

LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

技术规格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

设备类型

''CG'' for combination gauge

I / O 从属传讯

polling only

设定点继电器: 设定点数量

2

设定点继电器: 范围

mbar

1×10-9 … 1400

设定点继电器: 继电器触点

n.o., potential free

设定点继电器: 滞后

% of reading

10

设定点继电器: 触点额定值

60

设定点继电器: 连接器

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 电源电压

11 … 25 

真空计电源电压

20 … 28

DeviceNet™ 连接器

Microstyle, 5-pin

BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

 

波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

数字功能

rea, d pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

设定点继电器: 设定点数量

2

设定点继电器: 范围

mbar

1×10-9 … 1400

设定点继电器: 继电器触点

n.o., potential free

设定点继电器: 滞后

% of reading

10

设定点继电器: 触点额定值

60

Profibus DP 连接器

D-Sub, 9-pin, female

BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

D-Sub, 15-pin, male

(1) 除气期间降低精度

(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

(3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

BCG450

零件号

说明

353-550 

BCG450 规管

353-561 

BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle

353-551 

BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-552 

BCG450 规管

353-553 

BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-554 

BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-556 

BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R

353-557 

BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-558 

BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.

353-592 

BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-593 

BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R

附件

BCG450

零件号

说明

353-511 

BPG400 24V电源

353-512 

Baffle for BPG400

211-113 

Centering ring with baffle DN 25 KF

备件

BCG450

零件号

说明

354-492 

BCG450 传感器

354-493 

BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.

 

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