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HPG400HPG400 大气压至高真空真空计
HPG400
HPG400 大气压至高真空真空计
INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力。 HPG400 型真空计为精确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。
 
  • 产品概述
  • 详细参数
  • 资料下载

益处

  • HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统安装与设置的复杂性
  • 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力,进而改善过程控制
  • 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
  • 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
  • 工业镀膜
  • 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制


    规格

    类型

    HPG400

    测量范围(空气,N2

    2×10-6 … 1000

    精度

     

    10-5 … 毫巴

    % of reading

    ±15 (1)

    可重复性

     

    10-5 … 10-1 毫巴

    % of reading

    2

    10-1 … 100 毫巴

    % of reading

    30

    热离子发射,可选:

     

    选购件 1

    mbar

    1

    选购件 2

    mbar

    5×10-1

    选购件 3

    mbar

    2×10-1

    选购件 4

    mbar

    1×10-1

    选购件 5

    mbar

    5×10-2

    压力,最大

    bar (absolute)

    2

    温度

     

    运行(环境)

    °C

    … +50

    贮存

    °C

    -20 … +70

    在法兰处烘烤

    °C

    80

    移除烘烤电子设备

    °C

    150

    电源电压

    20 … 28

    输出信号模拟

     

    输出信号

    V

    … +10.2

    测量范围热阴极

    V

    1.5 … 7.5

    测量范围皮拉尼

    V

    8.5 … 9.75

    电压比压强热阴极

    volts per decade

    1

    电压与压强皮拉尼

    volts per decade

    0.25

    错误信号热阴极

    V

    0.3

    错误信号皮拉尼

    V

    0.5

    最小负载电阻

    k

    10

    接口(数字)(2)

    RS232C

    电气连接

    D-Sub, 15-pin, male

    电缆长度,最大 (3)

    m (ft.)

    100 (330)

    暴露于真空的材料

    Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

    内部容积 KF / CF

    cm(in.3)

    20 (1.2) / 30 (1.8)

    重量 KF / CF

    g

    430 / 695

    保护等级

    IP30

    DeviceNet

     

    协议

    DeviceNet, group 2 slave only

    数据率开关

    kBaud

    125, 250, 500 or network programmable

    电缆长度 125 kbps

    m (ft.)

    500 (1650)

    电缆长度 250 kbps

    m (ft.)

    250 (825)

    电缆长度 500 kbps

    m (ft.)

    100 (330)

    MAC ID

    2 switches (address 00 - 63) or network programmable

    网络规模

    up to 64 nodes per segment

    数字功能

    read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

    模拟功能

    … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

    可视通信指示器

    LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

    技术规格

    DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

    设备类型

    ''CG'' for combination gauge

    I / O 从属传讯

    polling only

    设定点继电器: 设定点数量

    2

    设定点继电器: 范围

    mbar

    2×10-6 … 100

    设定点继电器: 继电器触点

    n.o., potential free

    设定点继电器: 滞后

    % of reading

    10

    设定点继电器: 触点额定值

    60

    DeviceNet™ 电源电压

    11 … 25 

    真空计电源电压

    V (dc)

    20 … 28

    DeviceNet™ 连接器

    Microstyle, 5-pin

    HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

    D-Sub, 15-pin, male

    Profibus DP

     

    波特率

    9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

    地址

    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

    数字功能

    read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

    模拟功能

    … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

    设定点继电器: 设定点数量

    2

    设定点继电器: 范围

    mbar

    2×10-6 … 100

    设定点继电器: 继电器触点

    n.o., potential free

    设定点继电器: 滞后

    % of reading

    10

    设定点继电器: 触点额定值

    60

    Profibus DP 连接器

    D-Sub, 9-pin, female

    HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

    D-Sub, 15-pin, male

    (1) 精度从 10-5 毫巴至所选热离子排放值

    (2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

    (3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

HPG400

零件号

说明

353-520 

皮拉尼真空计

354-486 

HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF

353-521 

HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-522 

HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F

353-523 

HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F

353-525 

HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-526 

HPG400-SP PBusDN 40 CF-F

353-527 

HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-528 

HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

附件

HPG400

零件号

说明

211-113 

Centering ring with baffle DN 25 KF

353-511 

BPG400 24V电源

备件

HPG400

零件号

说明

354-487 

HPG400 备用传感器

354-488 

HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F

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