1. 适宜范围: 1×10-6Pa~2×105Pa
2. 电源:220V 50Hz6W
3. 压缩空气“5~8×105Pa
4. 阀体漏率:<1.3×10-7Pa-L·S-1 ·阀板正反向漏气率<1.3×10-7Pa-L·S-1
6. 寿命:>200,000次
7. 阀门开启或关闭所需时间<0.5秒
8. 阀体 硬铝;不锈钢SUS 316L
9. 波纹管:不锈钢SUS 316L ·密封圈:氟橡胶
10. 真空内部材料:
11. 不锈钢SUS 304,321
12. 通径:10KF;16KF;25KF;40KF