1. 适宜范围:1×10-Pa~2×105Pa
2. 在允许的压力范围内,在不同的压差方向均可打开或关闭
3. 阀体漏率:<1.3×10-7Pa-L·S-1
4. 阀板正反向漏气率:<1.3×10-7Pa-L·S-1
5. 寿命:>200,000次
6. 安装位置:任意
7. 有明显的阀板开启高度指示器
8. 本阀开启高度能任意定位,对气流可进行流量调节
9. 烘烤温度:80℃
10. 阀体; 不锈钢SUS 316L
11. 波纹管:不锈钢SUS 316L
12.密封圈:氟橡胶
13. 真空内部材料:不锈钢
14. 通径:10KF;16KF;25KF;40KF