1. 适宜范围1×10-6Pa~1×105Pa
2. 开启阀板压差力:<1.1×105Pa
3. 阀体漏率:<1.3×10-7Pa-L·S-1
4. 阀板正反向漏气率<1.3×10-7Pa-L·S-1
5. 寿命:>100,000次
6. 安装位置:任意
7. 本阀门带有舌簧管阀位指示器,并带有位置信号发生器。
8. 阀体,硬铝;不锈钢SUS 316L
9. 波纹管:不锈钢SUS 316L ·密封圈:氟橡胶
10. 真空内部材料:不锈钢
11. 通径:10KF;16KF;25KF;40KF